نویسنده = �������������� ���������� ��������������
طراحی و شبیه سازی شتاب سنج حرارتی MEMS با حساسیت بهینه شده و قابلیت اندازه گیری شتاب در دو محور

دوره 8، شماره 2، تیر 1397، صفحه 13-24

10.22044/jsfm.2018.6538.2532

شبنم قادری؛ محمد طهماسبی پور؛ ابراهیم عباسپور ثانی؛ مهرزاد مدرس