نویسنده = %D8%A7%D8%A8%D8%B1%D8%A7%D9%87%DB%8C%D9%85 %D8%B9%D8%A8%D8%A7%D8%B3%D9%BE%D9%88%D8%B1 %D8%AB%D8%A7%D9%86%DB%8C
طراحی و شبیه سازی شتاب سنج حرارتی MEMS با حساسیت بهینه شده و قابلیت اندازه گیری شتاب در دو محور

دوره 8، شماره 2، تیر 1397، صفحه 13-24

10.22044/jsfm.2018.6538.2532

شبنم قادری؛ محمد طهماسبی پور؛ ابراهیم عباسپور ثانی؛ مهرزاد مدرس