کلیدواژه‌ها = %D8%B1%D9%88%D8%B4 %D8%A7%D9%84%D9%85%D8%A7%D9%86 %D9%85%D8%AD%D8%AF%D9%88%D8%AF %28FEM%29
طراحی و شبیه سازی شتاب سنج حرارتی MEMS با حساسیت بهینه شده و قابلیت اندازه گیری شتاب در دو محور

دوره 8، شماره 2، تیر 1397، صفحه 13-24

10.22044/jsfm.2018.6538.2532

شبنم قادری؛ محمد طهماسبی پور؛ ابراهیم عباسپور ثانی؛ مهرزاد مدرس