کلیدواژه‌ها = %D8%B3%DB%8C%D8%B3%D8%AA%D9%85 %D9%87%D8%A7%DB%8C %D9%85%DB%8C%DA%A9%D8%B1%D9%88%D8%A7%D9%84%DA%A9%D8%AA%D8%B1%D9%88%D9%85%DA%A9%D8%A7%D9%86%DB%8C%DA%A9 %28MEMS%29
طراحی و شبیه سازی شتاب سنج حرارتی MEMS با حساسیت بهینه شده و قابلیت اندازه گیری شتاب در دو محور

دوره 8، شماره 2، تیر 1397، صفحه 13-24

10.22044/jsfm.2018.6538.2532

شبنم قادری؛ محمد طهماسبی پور؛ ابراهیم عباسپور ثانی؛ مهرزاد مدرس